万业企业旗下快速热处理设备成功中标积塔半导

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刊名：金属热处理
曾用名：压力加工与热处理
主办：北京机电研究所;中国机械工程学会热处理学会;中国热处理行业协会
ISSN：0254-6051
CN：11-1860/TG
语言：中文
周期：月刊
被引频次：71933
期刊分类：冶金能源

来源：金属热处理 【在线投稿】栏目：综合新闻时间：2022-07-28

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快速热处理（RTP）是集成电路晶圆厂（Foundry）在芯片制造前道工艺中所需的关键设备，用于晶圆加工和多类芯片（Logic逻辑、3DNAND闪存、DRAM动态记忆体、PowerIC功率半导体、CMOS图像传感器）制造的氧化、扩散和退火制程。

据上海积塔半导体设备中标结果公告显示，7月19日，万业企业（.SH）旗下嘉芯闳扬成功中标上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目快速热处理（RTP）设备。